Автоматичний контроль температури та вологості
Температура та вологість чистого приміщення в основному визначаються відповідно до вимог процесу, але за умови дотримання вимог процесу слід враховувати комфорт людини.З підвищенням вимог до чистоти повітря спостерігається тенденція до того, що процес висуває все більш жорсткі вимоги до температури та вологості.
Оскільки точність обробки стає все більш високою, вимоги до діапазону коливань температури стають все меншими.Наприклад, у процесі експонування літографії у великомасштабному виробництві інтегральних схем різниця між коефіцієнтом теплового розширення скла та кремнієвої пластини як матеріалу діафрагми повинна бути все меншою.Кремнієва пластина діаметром 100 мкм викличе лінійне розширення 0,24 мкм при підвищенні температури на 1 градус.Тому він повинен мати постійну температуру ±0,1 градуса.У той же час значення вологості, як правило, має бути низьким, тому що після того, як людина потіє, продукт буде забруднений, особливо для напівпровідникових майстерень, які бояться натрію, цей вид чистої майстерні не повинен перевищувати 25 градусів.
Більше проблем викликає надмірна вологість.Коли відносна вологість перевищує 55%, на стінці труби охолоджувальної води утворюється конденсат.Якщо це станеться в прецизійному пристрої або ланцюзі, це спричинить різні нещасні випадки.Легко іржавіє при відносній вологості повітря 50%.Крім того, коли вологість занадто висока, пил на поверхні кремнієвої пластини буде хімічно адсорбуватися молекулами води в повітрі на поверхню, яку важко видалити.Чим вища відносна вологість, тим важче видалити адгезію, але коли відносна вологість нижче 30%, частинки також легко адсорбуються на поверхні завдяки дії електростатичних сил і великої кількості напівпровідників. прилади схильні до поломок.Найкращий температурний діапазон для виробництва кремнієвих пластин становить 35~45%.
