Будівництво та використаннячиста кімнатамає зменшити введення, появу та утримування частинок у приміщенні, тобто відсутність або менше введення частинок, відсутність або менше поява частинок, відсутність або менше утримання частинок тощо.
Відповідно до вимог виробництва продукту параметрилюблютемпература, вологістьy і тиск слід контролювати.Відповідно до вимог виробництва продукту також необхідно контролювати розподіл повітря, швидкість повітря, шум, вібрацію, статичну електрику тощо в чистому приміщенні.Таким чином, чисті приміщення (фабрики) та пов’язані з ними приміщення можна грубо розділити на вісім категорій:
(1) Обладнання для очищення повітря (холодильне обладнання,блок кондиціонування повітря, фільтр,повітряний душ, чистий стіл);
(2) Система чистих приміщень (землю/підлога, стеля /ФФУ, металосайдинг, двері,трансферне вікно/оглядове вікно, лампи);
(3) Система постачання технологічного середовища (включаючи обладнання) (чиста вода, чистий газ, спеціальний газ, хімікати);
(4) Контроль мікровібрації та електростатичний захист;
(5) Система чистого одягу, приладдя для чистих приміщень (стіл, стілець, шафа, стелаж, пилосос), витратні матеріали для чистих приміщень;
(6) Тестування приладів;
(7) Об’єкти захисту навколишнього середовища (система очищення відпрацьованих газів, система очищення стічних вод);
(8)Dedicated пристрій (біологічний ізолятор, мікросередовище)
Вимоги до контролю виробничого середовища у виробництві електронних виробів не тільки мають суворі вимоги до чистоти повітря в приміщенні, але також мають суворі вимоги до вмісту чистоти домішок у всіх видах середовищ високої чистоти, які безпосередньо контактують із процес виробництва електронних виробів — вода високої чистоти, газ високої чистоти, хімічні речовини високої чистоти тощо. Деякі електронні вироби також мають суворіші вимоги щодо вібрації, статичної електрики, електромагнітних перешкод, джерела живлення тощо.
Час публікації: 19 серпня 2021 р